ホイール検査対応 走査電子顕微鏡
SURFACE ROUGHNESS ANALYSIS 3D SEM
ホイール検査対応 走査電子顕微鏡をご検討中のお客様へ
ご注文及びデモ評価停止のお知らせ
ホイール検査対応 走査電子顕微鏡ERA seriesをご検討いただき、誠にありがとうございます。
現在、予想を上回るご注文により、生産が追いつかないため、ご注文およびデモ評価の受付を一時停止させていただいております。
再開時期については、改めてご案内いたします。
ご不便をおかけしますこと、心よりお詫び申し上げますとともに、何卒ご理解いただけますようお願い申し上げます。
新製品電子線三次元粗さ解析装置『ERA-9200』
ERA-9200の特徴
セミインレンズ超高分解能走査電子顕微鏡。
加速電圧1kVでの分解能0.7nm。
セミインレンズSEMによる形状測定、粗さ解析を実現しました。
三次元粗さ解析走査電子顕微鏡『ERAシリーズ』
ERAシリーズの特徴
独自の技術を駆使し、試料表面の観察に加えて同一視野の三次元形状測定が行える装置。 電子プローブを用いたSEM測定方式は、 ｢JIS B 0681-6｣、｢ISO 25178-6｣ 表面性状測定方法の分類において、そ れぞれ｢角度分解SEM法｣、｢Angle-resolved SEM｣と定義された測定方法です。 信頼性、操作性は公的研究機関や試験機関、企業への多くの納入実績が証明いたします。
- JIS、ISO規格の表面性状パラメータが得られます
- 世界唯一、４本の二次電子検出器搭載による立体感画像
- 縦方向・横方向共に高分解能、即ち空間分解能に優れる
- 優れた操作性
- 測定時の試料ダメージは極少、機械的な接触がありません
- 1990年度精密工学会技術賞を受賞
※装置名に現在のJIS規格やISO規格では使用されない用語｢粗さ｣が含まれますが、 混乱を招く恐れがあるため2000年以前からの装置名をそのまま踏襲しています。
『ERAシリーズ』ラインアップ
ERA-nanoR
電子ビームによる超微細計測・解析技術を用いて、精密加工ツールの刃先などの形状や粗さを数値化します。光方式などの既存測定手法では困難だった、ナノレベルでの比較・解析を実現します
ERA-600SP
最大φ400㎜の重量物のある大型円筒試料をそのままステージに取り付け、電子ビーム観察から、2次電子による極微細３D形状測定と元素分析まで複合的に行うことが可能です。標準ステージも搭載しており、通常のSEM観察から３D 解析を行うことも出来ます。
ERA-600Series
高精度・高分解能三次元表面形状測定機の決定版。高分解能SEM観察と試料表面の形状測定、表面性状パラメータ算出がこの一台で可能。
