ERA-9200の特徴

セミインレンズ超高分解能走査電子顕微鏡。
加速電圧1kVでの分解能0.7nm。
セミインレンズSEMによる形状測定、粗さ解析を実現しました。

ERAシリーズの特徴

独自の技術を駆使し、試料表面の観察に加えて同一視野の三次元形状測定が行える装置。 電子プローブを用いたSEM測定方式は、 ｢JIS B 0681-6｣、｢ISO 25178-6｣ 表面性状測定方法の分類において、そ れぞれ｢角度分解SEM法｣、｢Angle-resolved SEM｣と定義された測定方法です。 信頼性、操作性は公的研究機関や試験機関、企業への多くの納入実績が証明いたします。

• JIS、ISO規格の表面性状パラメータが得られます
• 世界唯一、４本の二次電子検出器搭載による立体感画像
• 縦方向・横方向共に高分解能、即ち空間分解能に優れる
• 優れた操作性
• 測定時の試料ダメージは極少、機械的な接触がありません
• 1990年度精密工学会技術賞を受賞

※装置名に現在のJIS規格やISO規格では使用されない用語｢粗さ｣が含まれますが、 混乱を招く恐れがあるため2000年以前からの装置名をそのまま踏襲しています。