株式会社トラストウェル

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関連装置

小径マルチワイヤーソー OTW201シリーズ

トラストウェルのマルチワイヤーソーは、固定砥粒ワイヤーを使用します。従来の遊離砥粒方式に比べ、加工時間や切り代の短縮、加工歪低減が実現できます。 切断はダウンカット方式とし、インデックスステージでワークの向きを変える事で例えば角柱にする事も可能です。

小径マルチワイヤーソー OTW201シリーズ

特長

  • 90mm以下の小径材料等に最適
  • インデックス装置取り付け可
  • 高性能ダイヤモンドワイヤーによる ダウンカット
  • 遠心式自動スラッジセパレータ
  • 固定砥粒ワイヤーを使用しスラリーは不要
  • 小型なので優れたメンテナンス性
  • ワイヤー速度を調整し、多くの材料に対応

仕様

Maximum work size D:90mm L:100mm
Wire feed method Reciprocating motion
Wire diameter 0.12〜0.26 mm
Wire feed speed 30〜100m/min
Wire tension 15〜30N
Cutting feed speed 0.1〜5mm/min
Fast feed/back feed speed 150mm/min
Maximum wire amount of preparation 3000m(D:0.26mm)
Dimension(W*D*H) 1333*775*2155mm
Weight 570kg

エレクトロケミカルCVプロファイラ-CVP21

CVP21は各種ウェハの小さなエリアをエッチングしながら、 ドーピング、ドーピングの均質性、界面品質の確認を精密に行う解析装置です。 スマートな専用ソフトウェアにより水銀ランプやハロゲンランプを切り替える ことで、広いバンドギャップに対応します。 その上で、キャリブレーションを必要とせず、 1×10¹²/cm³~ 1×10²¹/cm³までの広いレンジの解析が可能です。

特長

  • 全自動でウェーハ内の多点測定が可能
  • 測定サンプルの準備が容易=切断等の加工は不要
  • 測定サンプル一部のみのエッチングサイズは1mm²または10mm²/ポイント
  • 1×10¹²/cm³~1×10²¹/cm³のワイドレンジと深さ分解能1nm,レンジは100μm
  • 8インチ等の大型サイズと同様に10mm以下の小型サンプル測定が可能

仕様


レーザ走査イメージャ

レーザ走査イメージャは、従来の顕微鏡やCCDカメラ、ラインセンサーの欠点を克服した新しい観察装置です。 測定表面に垂直にレーザを照射しながら、今までに無い広いエリアを一度に高速でスキャンします。(例:幅60mm)一般的な光学顕微鏡に比べ、画角の大く分解能の高いイメージを高速で取得できます。(例:幅4mmのスキャンで分解能 0.2μm)更に、共焦点型光学系によりコントラストが高く、透明体の観察にも好都合です。

製造元:(株)オプセル

レーザ走査イメージャ

特長

  • 広い観察領域(顕微鏡の100倍以上)と長いワーキングディスタンスを持つ
  • コントラストの高い共焦点型光学ユニット(レーザ顕微鏡と同様の光学系)
  • レーザ顕微鏡光学系では初めてのラスター方式で長く大きな画像を取得可能
  • 走査分解能が高くまたPC上で高倍率化、スクロールが可能
  • 専用の画像解析ソフトにて取得画像上での欠陥解析が可能

仕様

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